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QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見(jiàn)光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)相結(jié)合，可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測(cè)量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高達(dá) 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對(duì)半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。
更新時(shí)間：2024-11-09
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